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在線式高速噴射晶圓點膠機

時間:2023-11-01 預覽:1


在線式高速噴射晶圓點膠機是一種用于在線式生產中加工晶圓的設備,也稱為絲印機或噴墨打印機。其工作原理是通過高速噴射的膠水來將保護層涂覆在晶圓表面,以保護晶圓并增加其導電性。

在線式高速噴射晶圓點膠機的主要組成部分包括:

晶圓涂覆系統:用于將膠水從噴嘴中噴射到晶圓表面。

控制系統:用于控制噴射系統的運行和參數設置。

原料供應系統:用于提供膠水和其他原料。

廢液收集系統:用于收集廢液并回收利用。

在線式高速噴射晶圓點膠機的工作流程:

將晶圓放入洗滌液中,去除表面的污垢。

將晶圓放入預熱后的涂覆系統中,將膠水從噴嘴中噴射到晶圓表面。

控制噴射系統的運行,以控制膠水的噴射速度和流量。

根據需要,調整膠水的濃度和粘度。

在涂覆完成后,將晶圓從涂覆系統中取出,并用廢液收集系統收集廢液。

檢查晶圓的表面質量,并根據需要進行再次涂覆。

在線式高速噴射晶圓點膠機具有生產效率高、生產能力大、制程穩定、易操作等優點,可廣泛應用于集成電路、半導體器件等領域的生產中。

 

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